项 目
指 标
优级品
六氟化硫% ≥
99.8
空气 % ≤
0.05
四氟化碳 (CF4) % ≤
水分 % ≤
8
酸度( as HF )/ ppm≤
0.3
可水解氟化物/ ppm≤
1
矿物油/ ppm≤
10
毒性
生物试验无毒
包装:中圧钢瓶